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用于部件堆叠和/或拾放过程的微型多拾取元件

摘要

一种拾放工具,包括:多个可移动的保持器结构;以及多个拾放结构,每个保持器结构容纳两个或更多个拾放结构,其中每个保持器结构的两个或更多个拾放结构中的至少一个能够独立于所述每个保持器结构的两个或更多个拾放结构中的另外的至少一个,沿着所述每个保持器结构移动,并且其中每个拾放结构包括拾取元件,该拾取元件被配置为拾取施主结构处的施主部件并将施主部件置于受主结构。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-03-05

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/67 申请日:20170420

    实质审查的生效

  • 2019-02-05

    公开

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