公开/公告号CN109314069A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-02-05
原文格式PDF
申请/专利权人 ASML荷兰有限公司;
申请/专利号CN201780029700.5
申请日2017-04-20
分类号
代理机构中科专利商标代理有限责任公司;
代理人张启程
地址 荷兰维德霍温
入库时间 2024-02-19 06:53:11
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-03-05
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/67 申请日:20170420
实质审查的生效
2019-02-05
公开
公开
机译: 多个微型拾取元件,用于元件堆叠和/或拾取和放置过程
机译: 用于组件堆叠和/或拾取和放置过程的多个微型拾取元件
机译: 用于组件堆叠和/或拾取和放置过程的多个微型拾取元件