在垂直腔表面发射激光器中控制光束发散度

摘要

在一些实施方式中，垂直腔表面发射激光器(VCSEL)包括基体层和在基体层上的外延层。外延层可以包括活性层、第一反射镜、第二反射镜和一个或多个氧化层。活性层可以在第一反射镜和第二反射镜之间，且一个或多个氧化层可以靠近活性层。一个或多个氧化层可以配置为基于以下中的至少一个控制所发出激光束的光束发散度：一个或多个氧化层的量，一个或多个氧化层的形状，一个或多个氧化层的厚度，或一个或多个氧化层与活性层的接近程度。