公开/公告号CN109427637A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-03-05
原文格式PDF
申请/专利权人 株式会社斯库林集团;
申请/专利号CN201810843560.1
发明设计人 村元僚;
申请日2018-07-27
分类号
代理机构北京银龙知识产权代理有限公司;
代理人张敬强
地址 日本京都府
入库时间 2024-02-19 06:50:21
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-03-29
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/677 申请日:20180727
实质审查的生效
2019-03-05
公开
公开
机译: 基板反转装置,基板处理装置以及基板支撑装置,基板反转方法,基板处理方法以及基板支撑方法
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