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用于能变化地影响射线束的波前的设备

摘要

本发明涉及一种用于能变化地影响射线束的波前的设备,其具有平面镜(1)以及调整和保持装置(10),该平面镜具有对称轴线(A),调整和保持装置具有台座(2),台座与平面镜(1)的周面(1.3)固定地连接,并且台座居中地贴靠在平面镜(1)的背侧(1.2)上。存在有套管(3),其能够沿着对称轴线(A)在台座(2)中被线性调节,并且经由膜片弹簧(8)一方面与台座(2)固定地连接,并且另一方面与类似冠状的调节元件(5)固定地连接。类似冠状的调节元件(5)具有冠齿,冠齿作用到与平面镜(1)连接的保持压板(6)上并使保持压板变形,从而将与变形相对应的力输入到平面镜(1)中以使该平面镜变形。

著录项

  • 公开/公告号CN109387937A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2019-02-26

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 业纳光学系统有限公司;

    申请/专利号CN201810820556.3

  • 发明设计人 托尔斯滕·埃贝;

    申请日2018-07-24

  • 分类号

  • 代理机构中原信达知识产权代理有限责任公司;

  • 代理人李骥

  • 地址 德国耶拿

  • 入库时间 2024-02-19 06:47:20

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-08-28

    实质审查的生效 IPC(主分类):G02B26/06 申请日:20180724

    实质审查的生效

  • 2019-02-26

    公开

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