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用于能变化地影响射线束的波前的设备

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本发明涉及一种用于能变化地影响射线束的波前的设备，其具有反射式或透射式的平面光学器件(1)和调节和保持装置(2)，该调节和保持装置经由至少三个弹性的保持压板(2.3)与平面光学器件(1)连接，使得能够经由至少一个布置在调节和保持装置(2)中的调节元件(2.4)将力导入到其中至少一个保持压板(2.3)中，这些力由于保持压板(2.3)在其作用方向上变弯而转向，使得这些保持压板在平面光学器件(1)的周面(1.3)上造成了其作用方向(R

著录项

公开/公告号CN109387917A

专利类型发明专利
公开/公告日2019-02-26

原文格式PDF
申请/专利权人业纳光学系统有限公司;
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申请/专利号CN201810869588.2
发明设计人托尔斯滕·埃贝;
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申请日2018-08-02
分类号
代理机构中原信达知识产权代理有限责任公司;
代理人李骥
地址德国耶拿
入库时间 2024-02-19 06:47:20

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2020-08-18

实质审查的生效 IPC(主分类):G02B7/182 申请日:20180802

实质审查的生效
2019-02-26

公开

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