衬底支架、光刻装置、器件制造方法和制造衬底保持器的方法

摘要

一种用于光刻装置的衬底支架，包括具有提供在其表面上的薄膜叠层的主体。薄膜叠层形成电子或电气组件，如电极、传感器、加热器、晶体管或逻辑器件，并且具有顶部隔离层。用于支承衬底(W)的多个粒结形成在薄膜叠层上或薄膜叠层的孔径中。