法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2012-08-08
授权
授权
2010-09-22
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 1/00 申请日:20091225
实质审查的生效
2010-08-04
公开
公开
机译: 一种用于光刻设备的薄皮,该薄皮方法用于光刻设备,一种光刻设备,一种设备制造方法,一种用于处理薄皮的设备以及一种用于处理薄皮的方法。皮肤薄
机译: 用于微光刻的投影物镜,具有该投影物镜的微光刻投影曝光设备,用于生产组件的微光刻工艺以及使用该方法生产的组件
机译: 用于微光刻的投影物镜,具有该投影物镜的微光刻投影曝光设备,用于组件的微光刻制造工艺以及使用该方法制造的组件