一种钼/铝复合金属层的蚀刻液及蚀刻方法

摘要

本发明公开了一种钼/铝复合金属层的蚀刻液，包括以下重量百分比的原料：磷酸50～70％；硝酸0.1～5％；乙酸5～20％；高氯酸1～10％；余量为水。本发明还公开了利用所述钼/铝复合金属层的蚀刻液对钼/铝复合金属层进行蚀刻的方法。本发明的钼/铝复合金属层的蚀刻液，通过加入高氯酸来平衡钼和铝的蚀刻速率，使得钼/铝复合金属层的蚀刻角度和蚀刻量得到有效的控制。