Cette thèse présente la conception de MEMS à base de matériaux organiques et cela, en vue de réaliser des capteurs biochimiques. Dans ces travaux les matériaux organiques ont été proposés en tant qu alternative au silicium afin, d une part, de réduire le coût des capteurs biochimiques par le développement de procédés de structuration simples et peu couteux et, d autre part, car les polymères peuvent être synthétisés de telle sorte à leur conférer des propriétés spécifiques et contrôlables pour une application visée. Dans ces travaux à fort caractère technologique, des méthodes adaptées à la structuration de ce type de matériau ont été développées. Une de ces méthodes consiste à déposer le matériau organique au travers d un micropochoir fait en SU-8. Cette méthode permet de déposer et de structurer le matériau en une seule étape, d une part, et d autre part de mettre en forme des polymères photo et thermosensibles. Une méthode de report inspirée du wafer-bonding en SU-8 a été adaptée pour la fabrication collective de puces de microleviers organiques. Ensuite, un actionnement électromagnétique a été intégré aux structures afin d améliorer les performances de ces dernières utilisées en tant que résonateur.Et enfin, un concept original de biocapteur de masse basé sur des microleviers monocouches a été développé. Dans ce cas, la couche sensible faite d un polymère à empreinte moléculaire assure à la fois, la reconnaissance biologique et la transduction de l effet mécanique du microlevier.
展开▼
