机译:射频电容耦合放电的等离子体参数:平面阴极与大孔尺寸之间的比较研究多空心阴极
机译:由磁耦合空心阴极等离子体源产生的细长等离子柱的特性
机译:有效设计多个空心阴极电极以提高射频电容耦合等离子体的密度
机译:空心阴极电极系统的双等离子体模式操作,用于半导体制造的远程等离子体去除
机译:用于电子材料蚀刻的高密度电子回旋共振和感应耦合等离子体源的比较:电子材料的新等离子体蚀刻方案。
机译:电容耦合等离子体电极上的电压分布用于产生大气压等离子体
机译:增强放电空心阴极灯和电感耦合等离子体(ICp)作为ICp原子荧光光谱法激发光源的比较
机译:从HCD(空心阴极放电)等离子体中提取稳态电子束用于EBIs(电子束离子源)应用