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Diseño y calibración de un microscopio óptico y un espectrómetro para medidas de reflectancia y transmitancia

机译:用于反射率和透射率测量的光学显微镜和光谱仪的设计和校准

摘要

El trabajo de Fin de Grado desarrollado ha consistido en el diseño y fabricación de un microscopio y un espectrómetro para realizar medidas de reflectancia y transmitancia espectroscópicas. También ha sido necesario calibrar este último. Estos equipos han sido financiados por el Instituto de Fusión Nuclear, localizado en la Escuela Técnica Superior de Ingenieros Industriales de la Universidad Politécnica de Madrid, para ser utilizados en docencia y en futuras líneas de investigación de materiales. udLa caracterización óptica puede clasificarse en dos grandes grupos, atendiendo al momento en que se realizan las mediciones. La caracterización in-situ donde la toma de medidas se realiza durante la fabricación de la muestra. El segundo grupo es la caracterización ex-situ donde el sistema es caracterizado después de su formación, una vez finalizada la deposición del recubrimiento. La caracterización ex-situ será el método empleado en este proyecto por su simplicidad y fiabilidad, aunque el espectrómetro fabricado también podría utilizarse en el otro tipo de caracterización. udSe puede afirmar que la caracterización ex-situ es la más sencilla de ejecutar, debido a la menor cantidad de variables a tener en cuenta para obtener una medida fiable y precisa. Se pueden obtener las propiedades del sistema ya crecido, sus propiedades finales, manejando un volumen de datos inferior al de la variante in-situ. Sin embargo, no todo son ventajas ya que presenta serias limitaciones cuando se requiere caracterizar un sistema más allá de sus propiedades finales. Existe una gran variedad de técnicas, de distinta naturaleza, para la caracterización ex-situ e in-situ. En este trabajo se describirán y analizaran algunas de las técnicas de caracterización ópticas más empleadas en la actualidad, centrándose en la reflectancia y transmitancia espectroscópicas de la luz puesto que es la técnica empleada en este trabajo durante la experimentación. udEl funcionamiento del microscopio diseñado es sencillo, consiste en hacer incidir un haz de luz enfocado sobre la muestra. De esta forma se generan dos haces, uno reflejado y otro transmitido. Se calculará la reflectancia y transmitancia del sistema analizando los respectivos haces con un espectrómetro. Los haces se transportarán mediante fibra óptica al espectrómetro, que los procesará para determinar la intensidad de los mismos. A su vez el espectrómetro está conectado a un ordenador donde se podrán visualizar las medidas de forma gráfica y de manera instantánea. udPara obtener las propiedades físicas a partir de la reflectancia y transmitancia es necesario recurrir al análisis óptico de sistemas multicapas. Se recomienda aplicar las fórmulas de Fresnel cuando el sistema esté compuesto por pocas capas. En el caso de un sistema multicapas, el análisis mediante fórmulas de Fresnel es laborioso debido a la gran cantidad de haces reflejados y transmitidos en cada capa. Por tanto, es conveniente plantear de forma matricial dichas fórmulas como técnica de análisis eficaz y rápida cuando se tiene una gran cantidad de capas. udSe definen la reflectancia, R, y la transmitancia, T, como el cociente de flujos a través de una superficie de onda reflejada y la transmitida, y la onda incidente, respectivamente. udEl esquema más sencillo de un espectrómetro está constituido por: una rendija de entrada de luz, una lente colimadora, una rejilla de difracción, una lente de salida y un detector óptico-electrónico (CCD). En este proyecto se emplea un monocromador del tipo Czerny-Turner como banco óptico debido a que presenta las mejores prestaciones para espectrómetros en miniatura. Cabe destacar la rejilla de difracción como el elemento más importante y sensible de este dispositivo, estando la resolución del espectrómetro ligada a la rejilla de difracción y a la anchura del monocromador. Fabricaremos un espectrómetro que operará en un espectro de longitudes de onda entre 200 y 800 nm. Debido a que hemos seleccionado una rejilla de difracción para cubrir un rango amplio de longitudes de onda, se ha sacrificado la resolución, por lo que no se puede realizar espectroscopia Raman con él. Los elementos fotosensibles son necesarios en este dispositivo puesto que convierten la información luminosa en señal eléctrica. udUna vez conocidos los principios físicos y ópticos en los que se basan los equipos a diseñar, hay que definir las características de estos equipos. Para este diseño es muy importante la portabilidad, por lo que se diseñó una base en aluminio para soportar el equipo óptico y se envió a fabricar a un torno de CNC. La principal ventaja es que las piezas van ensambladas sobre la base de forma que las piezas quedan fijas y únicamente se tiene que proceder al alineamiento una vez. Además, otorga modularidad al equipo. udPara la verificación del correcto funcionamiento del equipo, así como de la compatibilidad de las piezas, se realizaron esquemas con el programa informático de diseño asistido por ordenador Solid Edge. Los modelos de las piezas de los equipos fueron descargados desde la Web del distribuidor Thorlabs y convertidos en formatos compatibles con el software mencionado. Posteriormente, los esquemas se realizaron ensamblando las piezas entre sí y comprobando que no hubiera incompatibilidades.udLa siguiente etapa fue la fabricación del espectrómetro cuya idea de fabricación fue evolucionando conforme avanzaba el proyecto. Inicialmente se pretendía construir un espectrómetro desde cero, pero debido a la complejidad de la parte de la electrónica nos concentramos en la parte óptica y en la carcasa del espectrómetro. Se simuló mediante OptGeo la parte óptica para conocer la posición de los espejos y que de esta forma la luz incidiese correctamente en el sensor CCD. Posteriormente se procedió a la simulación real del esquema inferior con los elementos implicados.udLa parte de la carcasa fue un desarrollo continuo en el cual se implementaron varias mejoras hasta llegar al resultado deseado, evitando que la luz se introdujese dentro del espectrómetro y distorsionase los resultados. La técnica de construcción de la carcasa del espectrómetro fue impresión 3D usando PLA negro que absorbe la luz externa y evita que entre en el dispositivo. Se incluye el logo vectorizado de la escuela en la carcasa con el fin de personalizarla.udLa calibración del espectrómetro es fundamental para su posterior utilización. Para ello hemos utilizado un polinomio de tercer orden para relacionar el número de píxeles y la longitud de onda. udLa calibración se realizó a partir de unas fuentes de hidrógeno, helio, argón y CO2, comparando los resultados medidos por nuestro espectrómetro con los de un sistema comercial que sirvió de referencia, patrón. Es necesario disponer de al menos cinco líneas espectrales para obtener una calibración correcta, pero utilizamos muchas más para obtener un mejor resultado.udFinalmente, se realizaron dos experimentos para comprobar la correcta calibración del dispositivo. En el primer experimento se hace incidir mediante el microscopio un haz de luz sobre un sustrato de sílice con una película delgada de IZO. La luz reflejada por la muestra es recogida mediante fibra óptica que será guiada hasta el espectrómetro comercial. Se repetirá este proceso, con el espectrómetro casero, para comparar ambos espectros. Las diferencias observadas entre ambos espectros son fundamentalmente atribuibles a que se han medido diferentes regiones de la muestra. La parte achacable al error de la calibración está en el orden de 1-2 nm.udEl segundo experimento consiste en medir la absorbancia de partículas de oro. El proceso es similar al anterior salvo que esta vez se recoge la luz transmitida. La absorbancia (A) es un concepto más relacionado con la muestra puesto que nos indica la cantidad de luz absorbida por la misma, y se define como el logaritmo de 1/T.udEl resultado de la experimentación es que la absorbancia depende del tamaño de la partícula y se confirma que el error de calibración es muy pequeño. Los resultados obtenidos muestran una excelente sensibilidad y resolución del espectrómetro fabricado.
机译:开发的“最终学位”项目包括显微镜和光谱仪的设计和制造,以进行光谱反射率和透射率测量。也有必要校准后者。这些团队由位于马德里工业大学工业工程师高级技术学院的核聚变研究所提供资金,用于教学和未来材料研究领域。光学测量可以根据测量的时间分为两大类。在样品制造过程中进行测量的原位表征。第二类是异位表征,其中一旦涂层沉积完成,便在系统形成后对其进行表征。易位表征将是本项目中使用的方法,因为它的简单性和可靠性,尽管制造的光谱仪也可用于其他类型的表征。可以说,异位表征最容易执行,因为要获得可靠和精确的测量需要考虑的变量数量较少。您可以获取已经增长的系统的属性,其最终属性,处理的数据量少于现场变量的数量。但是,并不是所有优点都具有,因为当需要表征超出其最终性能的系统时,它会带来严重的局限性。用于异位和原位表征的技术种类繁多,性质各异。这项工作将描述和分析目前使用最广泛的一些光学表征技术,着重于光的光谱反射率和透射率,因为它是实验中这项工作中使用的技术。设计的显微镜的操作很简单,包括使聚焦的光束照射到样品上。这样,产生了两个光束,一个光束被反射而另一个光束被透射。系统的反射率和透射率将通过使用分光计分析相应的光束来计算。光束将通过光纤传输到光谱仪,光谱仪将对其进行处理以确定其强度。反过来,将光谱仪连接到计算机,可以在其中以图形方式即时显示测量结果。为了获得反射率和透射率的物理特性,有必要对多层系统进行光学分析。当系统由几层组成时,建议应用菲涅耳公式。在多层系统的情况下,由于每一层中都有大量反射和透射光束,因此使用菲涅耳公式进行分析很费力。因此,当您具有大量图层时,以矩阵形式提出这些公式作为一种高效,快速的分析技术是很方便的。反射率R和透射率T分别定义为通过反射和透射波表面的通量与入射波的比值。光谱仪最简单的方案包括:光输入狭缝,准直透镜,衍射光栅,输出透镜和光电探测器(CCD)。在此项目中,将Czerny-Turner型单色仪用作光学平台,因为它对于微型光谱仪具有最佳性能。值得注意的是,衍射光栅是该设备最重要,最敏感的元件,光谱仪的分辨率与衍射光栅和单色仪的宽度有关。我们将制造光谱仪,该光谱仪将在200至800 nm的波长范围内工作。由于我们选择了可覆盖较宽波长范围的衍射光栅,因此牺牲了分辨率,因此无法对其进行拉曼光谱分析。光敏元件在此设备中是必需的,因为它们将光信息转换为电信号。一旦知道要设计的设备所基于的物理和光学原理,就必须定义该设备的特性。便携性对于此设计非常重要,因此设计了一个铝制底座来支撑光学设备,然后将其发送到CNC车床上进行制造。主要优点是,将零件组装在基座上,以便将零件固定,并且只需要对中一次。另外,它为设备提供了模块化。 ud验证设备的正确操作以及零件的​​兼容性图表是使用Solid Edge计算机辅助设计软件制作的。设备零件的模型是从Thorlabs分销商的网站下载的,并转换成与上述软件兼容的格式。随后,通过将零件组装在一起并检查不存在不兼容性来制作图表下一步是光谱仪的制造,其制造理念随项目的进展而发展。最初打算从零开始构建光谱仪,但是由于电子部件的复杂性,我们集中在光学部件和光谱仪外壳上。利用OptGeo对光学部件进行了仿真,以了解反射镜的位置,从而使光线能够正确入射到CCD传感器。随后,使用所涉及的元素对下层方案进行了真实的模拟。结果。光谱仪的外壳构造技术是使用黑色PLA进行3D打印,该黑色PLA吸收了外部光并阻止其进入设备。学校的矢量徽标包含在个性化保护套中 U光谱仪的校准对于后续使用至关重要。为此,我们使用了三阶多项式来关联像素数和波长。 ud校准是从氢气,氦气,氩气和CO2来源进行的,将我们的光谱仪测量的结果与用作参考标准品的商业系统的结果进行了比较。为了获得正确的校准,至少需要有5条光谱线,但是为了获得更好的结果,我们使用了更多的谱线。最后,进行了两个实验以验证设备的正确校准。在第一个实验中,用显微镜在IZO薄膜的二氧化硅基板上切出光束。样品反射的光通过光纤收集,该光纤将被引导至商用光谱仪。将使用自制光谱仪重复此过程以比较两个光谱。观察到的两个光谱之间的差异从根本上归因于已经测量了样品的不同区域的事实。归因于校准误差的部分约为1-2 nm。第二个实验包括测量金颗粒的吸光度。该过程与上一个过程相似,除了这次是收集透射的光。吸光度(A)是与样品更相关的概念,因为它表示被样品吸收的光量,并定义为1 / T的对数。 U实验结果是吸光度取决于大小可以确定该校准误差很小。所获得的结果表明,所制造的光谱仪具有出色的灵敏度和分辨率。

著录项

  • 作者

    Illescas González Pedro;

  • 作者单位
  • 年度 2017
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