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Si-DLC Films using a Plasma Based Ion Implantation Technique with Positive-Negative High Voltage Pulses (II)-Effect of Positive Pulse Heights for Thermal Resistance, Friction and Wear-

机译:Si-DLC膜使用基于等离子体的离子注入技术,具有正负高压脉冲(II) - 用于热阻,摩擦和磨损的正脉冲高度的影响 -

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