机译:通过原子层沉积获得具有10 nm半间距的纳米压印模板光栅,可进行间隔物双重图案化
机译:用于制造高密度衍射光栅的预应力辅助纳米压印光刻
机译:用纳米压印法制备的二氧化钛衍射光栅捕获光
机译:使用大面积纳米压印的全尺寸X射线光栅制造
机译:多层X射线衍射光栅的制造,测量和分析。
机译:X射线自由电子激光器的闪耀衍射光栅和掠入射光学器件的损伤阈值
机译:通过掠入射小角度X射线散射评估纳米压印光刻技术制造的聚合物光栅中复制品的质量
机译:使用多层衍射光栅测定X射线,软X射线和VUV元素散射截面。