SILICON; MICROMACHINING; MANAGEMENT SYSTEMS; TECHNOLOGIES; THREE DIMENSIONAL MODELS; SINGLE CRYSTALS; ELECTROMECHANICAL DEVICES; TWO DIMENSIONAL MODELS;
机译:向全硅集成热管理系统发展:集成MCM
机译:具有集成元件的硅微机械扫描热轮廓仪,用于感应和驱动
机译:集成微系统的硅微细化
机译:硅基板中带有嵌入式芯片的MCM的热管理和测试
机译:使用硅微机械和混合集成微机电系统(MEMS)进行光相位调制光束控制。
机译:热生长二氧化硅的超薄转移层作为生物集成柔性电子系统的生物流体屏障
机译:通过硅技术制造的微机器。通过微机械整合传感器和执行器系统。