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Investigation of the Influence of Ozone on the Stability of DC-704 in a Diffusion Pump Vacuum System Final Report, 1 Nov. 1966 - 1 Jun. 1967

机译：臭氧对扩散泵真空系统中DC-704稳定性影响的研究最终报告，1966年11月1日 - 1967年6月1日

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作者
Farrell, J.;
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作者单位

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年度 1967
页码 p.1-41
总页数 41
原文格式 PDF
正文语种 eng
中图分类
关键词
Ozone ; Pump ; Vacuum system ; Contamination ; Diffusion ; Explosion ; Fluid ; Leakage ; Stability ; System ; Vacuum;

机译：臭氧;泵;真空系统;污染;扩散;爆炸;流体;泄漏;稳定性;系统;真空;

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