Electron Channeling; Chemical Vapor Deposition; Meetings; Diagnostic Techniques; Silicon; Optimization; Epitaxy;
机译:在低基板温度下通过等离子体增强化学气相沉积和热线化学气相沉积沉积的薄膜的机械和压阻特性
机译:热线化学气相沉积法在大硅模板上生长多晶外延硅晶粒
机译:沉积后退火温度对通过热线化学气相沉积制备的氮化硅电介质多层膜中嵌入的硅量子点的影响
机译:使用电子通道图形通过热线化学气相沉积技术优化低温外延硅的工艺
机译:用于大晶粒多晶光伏器件的外延膜的低温热线化学气相沉积。
机译:热丝化学气相沉积法对NiSi / SiC核壳纳米线的固态有限成核
机译:热线化学气相沉积在低温外延硅生长过程中的表面演变:结构和电子性能