Microelectromechanical systems ; Chips(Electronics) ; Fabrication ; Integrated circuits ; Micromachining ; Silicon ; Monolithic structures(Electronics) ; Symposia ; Semiconductors;
机译:出现较大的平面外变形的铸造MEMS结构的后期加工
机译:GigOptix将TFPS制造转移到IMT MEMS代工厂进行批量生产
机译:通过LSI代工厂和开放工厂进行CMOS-MEMS集成的机会
机译:使用商业代工MEMS制造工艺的低噪声AlN-on-Si共振红外探测器
机译:MEMS热敏开关的设计,制造和表征,以及与动态微热引擎的集成。
机译:使用长短期记忆的半导体制造铸造厂中进行中的在制品预测
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