Data bases; Data management; Distributed data processing; Information retrieval; Integrated circuits; Manufacturing; Access; Addressing; Distribution; Environments; Fabrication; Heterogeneity; Industrial plants; Interfaces; Models; Networks; Personnel; Solutions(General);
机译:空心波导的制造及其在光子集成电路中的应用-基于空心波导和MEMS的光子集成电路
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