机译:空心波导的制造及其在光子集成电路中的应用-基于空心波导和MEMS的光子集成电路
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机译:高性能光子BiCMOS工艺,用于制造高带宽电子-光子集成电路
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机译:与CMOS读出电路单片集成的悬浮纳米通道微桥谐振器的制造和测量
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机译:混合CmOs /纳米器件集成电路设计与制造