机译:双轴扭转微驱动器挤压膜阻尼的解析模型
Dual axis torsion microactuator; squeeze film damping; Reynolds equation; analytical modeling; damping torque;
机译:双轴扭转微驱动器挤压膜阻尼的解析模型
机译:包含复杂几何结构的MEMS扭转镜中的稀薄度的挤压膜阻尼的半解析模型
机译:扭转镜挤压膜阻尼半解析模型的高效数值评估
机译:具有扭转和弯曲耦合作用的扭转微镜的挤压膜阻尼模型
机译:研究凹陷和非圆形旋转轨道对挤压膜阻尼器阻尼性能的数值分析
机译:穿孔扭转微板谐振器挤压膜阻尼的解析模型
机译:穿孔式扭转微孔板谐振器挤压膜阻尼的解析模型