机译:以甲苯为溶剂的双(乙基环戊二烯基)钌液体输送MOCVD沉积的钌膜
liquid-delivery MOCVD; ruthenium; Ru(EtCp)(2); toluene; CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION; RU THIN-FILMS; TETRAHYDROFURAN SOLVENT; ELECTRICAL-PROPERTIES; SR)TIO3 CAPACITORS; DIFFUSION BARRIER; BOTTOM ELECTRODE; GATE ELECTRODES; SOURCE REAGENTS; GROWTH;
机译:以甲苯为溶剂的双(乙基环戊二烯基)钌液体输送MOCVD沉积的钌膜
机译:双(乙基环戊二烯基)钌前体化学气相沉积制备钌膜的特征
机译:(2,4-脱甲基戊二烯基)(乙基环戊二烯基)钌和氧的两步MOCVD工艺改善Ru薄膜的表面形貌
机译:使用(叔丁基羧酸盐)(三乙基膦)银和甲苯作为溶剂通过液体输送MOCVD沉积的银膜
机译:通过化学气相沉积法沉积的钌薄膜的生长和表征:增强成核和薄膜性能。
机译:三羰基双(三环己基膦-κP)钌(0)甲苯溶剂化物
机译:用(2,4-去甲基戊二烯基)(乙基环戊二烯基)钌和氧气两步mOCVD工艺改善Ru薄膜的表面形貌