机译:(2,4-脱甲基戊二烯基)(乙基环戊二烯基)钌和氧的两步MOCVD工艺改善Ru薄膜的表面形貌
Ru MOCVD; 2-step process; surface morphology;
机译:(2,4-脱甲基戊二烯基)(乙基环戊二烯基)钌和氧的两步MOCVD工艺改善Ru薄膜的表面形貌
机译:使用(2,4-二甲基氧基苯基)(乙基环戊二烯基)(乙基环戊二烯基)Ru及沉积期间的氨治疗的作用及其磷酸原子层沉积
机译:以甲苯为溶剂的双(乙基环戊二烯基)钌液体输送MOCVD沉积的钌膜
机译:用(2,4-去甲基戊二烯基)(乙基环戊二烯基)钌和氧气用2步MOCVD工艺改善Ru薄膜的表面形态。
机译:镧镍氧化物电极上MOCVD衍生的钙钛矿铅锆(x)钛(1-x)氧(3)和铅(scan钽)(1-x)钛(x)氧(3)薄膜的微观结构和电性能缓冲硅
机译:金属有机化学气相沉积(MOCVD)异质外延Pr0.7Ca0.3MnO3薄膜的合成:工艺条件对结构/形态和功能特性的影响
机译:用(2,4-去甲基戊二烯基)(乙基环戊二烯基)钌和氧气两步mOCVD工艺改善Ru薄膜的表面形貌
机译:低压mOCVD法研究载气对GaN薄膜形貌和镶嵌分散的影响