机译:通过钌(arukirushikuropentajieniru)钌的生产方式及其生产方式生产bis(arukirushikuropentajieniru)的bis,并使钌薄膜或钌化合物薄膜与
公开/公告号JP3598055B2
专利类型
公开/公告日2004-12-08
原文格式PDF
申请/专利权人 田中貴金属工業株式会社;
申请/专利号JP20000340151
申请日2000-11-08
分类号C07F17/02;C07F15/00;C23C16/18;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 22:26:24