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机译:使用MEMS共振质量传感器阵列表征水凝胶微结构的质量和膨胀
hydrogel swelling; MEMS mass sensor; patterned hydrogels; photolithography; polyethylene glycol;
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机译:用于检测空气传播颗粒的亚MU M空气间隙散装模式MEMS质量传感器的制造,电学表征和亚NG质量分辨率
机译:CMOS MEMS电容谐振传感器阵列的设计与表征
机译:亚微米气隙共振MEMS质量传感器的制造和电气特性,用于检测空气中的颗粒
机译:氧化铜-PDMS的溶蚀刻蚀特性,用于开发微/纳米-颗粒复合MEMS腐蚀传感器
机译:一种新的非线性机械耦合谐振传感器质量检测的频率稳定方法
机译:二维电子气的纳米管或纳米线阵列共振质量传感器的分析