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机译:用于MEMS的{100}纹理压电Pb(Zr-x Ti1-x)O-3薄膜:集成,沉积和性能
Piezoelectric thin films; Pzt; Mems; Lead-zirconate-titanate; Solid-solution system; Crystal orientation dependence; Gel pzt-films; Thermodynamic theory; Fabrication; Micromotors; Electrodes; Actuators; Sensors;
机译:用于MEMS的{100}纹理压电Pb(Zr-x Ti1-x)O-3薄膜:集成,沉积和性能
机译:溅射沉积(111),(100)和随机纹理的Pb(Zr_xTi_(1-x))O_3(PZT)薄膜的压电和介电性能
机译:RF溅射PB(Zr-0.60,Ti-0.40)O-3薄膜的增强介电和压电性能,沉积在溶胶 - 凝胶的PB1 + X(Zr-0.40,Ti-0.60)O-3种子层上,具有各种铅含量
机译:用{100}和{111}纹理的溶胶 - 凝胶衍生的Pb(Mg {sub} 1 / 3nb {sub} 3(70/30)膜的介质和横向压电表征{sub} 3(70/30)膜
机译:压电氧化锌薄膜的反应溅射沉积:加工,结构和性能相关。
机译:(100)具有增强压电特性的纹理化KNN基厚膜用于血管内超声成像
机译:通过直接在钛基板上沉积Pb(Zr,Ti)O-3薄膜来简单制造金属基压电MEMS