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机译:适用于指纹传感器的微加热器元件的热隔离结构的制造
Micromachining; Microfabrication; Thermal insulation; Thermal-type fingerprint sensor; Gas sensor; Microsensors;
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机译:单芯片指纹传感器/识别器LSI的新传感器结构和制造工艺
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