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机译:低浇铸PDMS密封环,用于MEMS结构的单面湿法蚀刻
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机译:通过Si(100)KOH湿法蚀刻的聚二甲基硅氧烷(PDMS)上的微金字塔结构制备
机译:基于湿法刻蚀工艺的新型硅微结构实现方法
机译:一种改进的各向异性湿法蚀刻工艺,用于使用单个蚀刻掩模制造硅MEMS结构
机译:氧化铜-PDMS的溶蚀刻蚀特性,用于开发微/纳米-颗粒复合MEMS腐蚀传感器
机译:C4F7N–CO2气体混合物与EPDM密封圈之间的相互作用机理
机译:低成本PDMS密封环,用于MEMS结构的单面湿法蚀刻