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机译:使用ClF3刻蚀多晶硅牺牲层,用于高纵横比的硅加速度传感器的薄膜封装
sacrificial etching; accelerometer; surface micromachining; encapsulation; GAS;
机译:使用ClF3刻蚀多晶硅牺牲层,用于高纵横比的硅加速度传感器的薄膜封装
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