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周俊; 王晓红; 姚朋军; 董良; 刘理天;
清华大学微电子学研究所;
沈阳师范大学信息技术学院;
加速度传感器; 多孔硅; 微加工; 牺牲层; 微机电系统;
机译:基于多晶硅压阻仪PDMS(聚二甲基硅氧烷)基于MEMS力传感器的MEMS力传感器的设计分析
机译:基于MEMS技术的多晶硅压阻式压力传感器
机译:基于MEMS压阻式压力传感器的硅隔膜的应力与频率分析
机译:压阻式高G加速度传感器的结构设计及有限元分析
机译:开发了一种完全集成的微机械压阻式加速度传感器/振动传感器,带有集成的空气阻尼器,用于状态监测。
机译:基于MEMS的压阻式加速度计用于头部损伤监测的机械结构设计:通过传感器惯性质量矩增量的计算分析
机译:基于微型硅膜和压阻式压力表的鼓风压力传感器设计
机译:Kilobar Blast压力传感器 - 使用硅传感器技术的3.4 Kilobar压阻式爆破压力传感器。
机译:基于硅压阻技术的湿/湿放大差压传感器设计
机译:制造桥式结构的方法和制造具有相同方法的压阻加速度传感器的压阻加速度传感器的方法
机译:用于制造例如机电的微机电系统结构的方法。加速度传感器涉及沉积氧化物层作为牺牲层,从而通过将离子撞击在氧化物层上而在氧化物层中形成多孔区域
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