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机译:衬底偏压对反应溅射ZrN扩散阻挡膜影响的研究
Films; Electrical properties; Nitrides; Diffusion barrier;
机译:衬底偏压对反应溅射ZrN扩散阻挡膜影响的研究
机译:衬底偏压对反应溅射Zr-Al-N扩散阻挡膜的影响
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机译:基材偏置对反应性溅射ZR-Al-N扩散阻挡膜的影响
机译:用于高温应用的反应溅射硅碳氮化硼薄膜的研究。
机译:SiNx扩散阻挡层厚度对溶胶-凝胶浸涂和反应磁控溅射获得的TiO2薄膜的结构性能和光催化活性的影响
机译:研究更新:反应溅射的纳米薄ZrN薄膜作为al和硼层之间的扩散阻挡层,用于辐射探测器应用
机译:反应溅射W-N薄膜作为Gaas金属化中的扩散障碍