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Interference Microscopy of Subnanometer Depth Resolution: Experimental Study

机译:亚纳米深度分辨率的干涉显微镜:实验研究

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摘要

Subnanometer-range roughness parameters were measured using an automated interference Linnik microscope with a white-light source. The sensitivity of the developed microscope in depth was shown to be 0.25 nm.
机译:使用具有白光源的自动干涉Linnik显微镜测量亚纳米范围的粗糙度参数。已开发的显微镜在深度上的灵敏度显示为0.25 nm。

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