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机译:用于高数值孔径球面超精密测量的Fizeau干涉仪的亚纳米失准像差校准
Interferometry; Misalignment aberration; High numerical aperture; Spherical surface measurement; Calibration;
机译:用于高数值孔径球面超精密测量的Fizeau干涉仪的亚纳米失准像差校准
机译:高数值孔径球面测试中的失准像差校准
机译:使用Zernike多项式的高阶位移-旋转法绝对测量超大孔径球面
机译:圆柱表面干涉测量中失准像差的校准
机译:大孔径激光菲索干涉仪的测量和分析优化。
机译:同时测量相对湿度和温度的双聚合物光纤菲索干涉仪
机译:欧洲X射线自由电子激光大孔径Fizeau干涉仪的调试和长X射线镜的初步测量
机译:用于亚纳米表面计量的共通道,多通道外差激光干涉仪