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机译:优化深度多层涂层的软X射线和EUV区域的宽带反射率
机译:优化深度多层涂层的软X射线和EUV区域的宽带反射率
机译:X射线区域多层镜反射率的研究
机译:X射线区域多层镜面反射率的研究
机译:优化EUV和X射线光学器件的深度分级多层设计
机译:用于多层反射镜的EUV /软X射线区域中材料的光学常数。
机译:通过全晶圆和卷对卷分步闪光纳米压印光刻技术生产的塑料基板单层宽带抗反射涂层
机译:用于多层镜像应用的EUV /软X射线区域中材料的光学常数
机译:用于多层镜应用的EUV /软X射线区域中的材料的光学常数