非理想软X射线光学多层膜的掠入射镜向反射率

摘要

对实际软Ｘ射线光学多层膜中普遍存在的主要非理想因素（层厚漂移、界面粗糙度和界面扩散）进行了定量描述. 基于动力学光学理论，计算了上述非理想因素对软Ｘ射线光学多层膜的掠入射镜向反射率的影响结果表明：层厚的随机漂移使反射率、尤其是高级反射率降低；累积层厚漂移破坏了多层膜的长程有序性，使反射峰展宽；界面扩散和界面粗糙度使反射率降低，对高级反射率的影响更甚，但二者并不破坏多层膜的长程有序性，所以反射峰的宽度不变；界面扩散和界面粗糙度对反射率影响的机制不同；在界面扩散宽度和界面粗糙度相等的情况下，界面粗糙度使反射率下降显著．用模拟退火 Ｍｏｎｔｅ－Ｃａｒｌｏ方法对 Ｃｏ／Ｃ软Ｘ射线光学多层膜进行了结构评价．该方法能避免复杂的求导运算，在软Ｘ射线光学多层膜的结构评价中具有较强的实用性．