极紫外与软X射线波段纳米多层膜反射镜

摘要

本文介绍了极紫外与软X射线波段纳米多层膜的研究,阐述了相应的特点和难点,描述了同济大学近年来在这一领域内的进展,发展了Mo/Si高反射多层膜,13nm处最高反射率超过65%,研制了30.4nm高反射多层膜,两种材料组合的多层膜反射率达25%,三种材料组合的多层膜反射率达32%;制作了Mo/Si宽带多层膜偏振元件,随着波长宽度的增加,反射率逐渐减小。最后介绍了窄带多层膜的研制,将高级次反射和缩小散射层厚度方法相结合,保证了多层膜带宽的连续可调。