イオン注入法を用いる多孔質PTFE膜の改質による電気化学的センサの改良

摘要

電気化学的ガスセンサに用いる気体透過性膜·eXpanded polytetra－fluoroethylene（ePTFE）の特性改質をイオン注入法を用いて試みた．検出ガスとして，H2，H2S，SO2，NO，NO2について調べ，ePTFEへの0＋およびN'のイオン注入により，H2の検出感度が著しく向上することが見出された．