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Focused ion-beam specimen preparation for atom probe field-ion microscopy characterization of multiplayer film structures

机译:用于原子探针场离子显微镜表征多层膜结构的聚焦离子束样品制备

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摘要

Focused ion-beam milling with a sub-10 nmdiameter beam of gallium ions has been used to fabricate field-ion specimens from a multiplayer film nanostructure containing100 repetitions of a (Cu2nm/Co2nm) bilayer deposited directly ontoa planar substrate. Successful field-ion specimen preparation hasallowed the observation of these layers on the atomic scale byboth field-ion imaging and atom probe compositional analysis.
机译:用低于10纳米直径的镓离子束进行聚焦离子束铣削已用于从多层膜纳米结构制造场离子样品,该多层膜纳米结构包含100重复(Cu2nm / Co2nm)双层直接沉积在平面基板上。成功的场离子标本制备允许通过场离子成像和原子探针组成分析在原子尺度上观察这些层。

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