机译:使用高密度等离子体化学气相沉积的富硅氧化物在长扩散长度范围内生长硅纳米晶体
机译:使用高密度等离子体化学气相沉积的富硅氧化物在长扩散长度范围内生长硅纳米晶体
机译:通过低压化学气相沉积沉积的富硅氧化物的热退火,在晶体硅基板上形成硅纳米岛
机译:通过等离子体增强化学气相沉积法生长的富硅氧化硅薄膜中Tb离子的激发机理和热发射猝灭-是否需要硅纳米团簇?
机译:高密度等离子化学气相沉积氧化硅膜的工艺优化设计
机译:对二氧化硅膜的热化学气相沉积(CVD)和多晶硅膜的高密度等离子体CVD过程中颗粒形成和传输的研究。
机译:富硅氧化硅中嵌入的硅纳米晶体的基体结构顺序与压缩应力之间的相关性
机译:等离子体增强化学气相沉积氮化硅膜吸收硅中的间隙铁