机译:简单而准确的解析解决方案,用于静电驱动的MEMS卷曲悬臂的屈曲后响应
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机译:静电驱动MEMS悬臂谐振器二阶超声共振的频率幅度响应
机译:静电驱动MEMS悬臂谐振器二阶超声共振的电压幅度响应
机译:静电驱动弯梁问题的简单而精确的解析解
机译:静电驱动的悬臂梁的二次共振
机译:带时滞反馈的静电驱动MEMS执行器的分叉控制
机译:静电驱动弯梁问题的简单而精确的解析解
机译:小面积原位mEms测试结构,通过211静电探测精确测量断裂强度