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机译:湿法刻蚀具有三角形轮廓的硅光栅
Silicon; Wet etching; Triangular gratings; Sharp edges;
机译:湿法刻蚀具有三角形轮廓的硅光栅
机译:使用各向异性湿蚀刻技术制造的低损耗硅波导和光栅耦合器
机译:湿法刻蚀二氧化硅和氮化硅材料时马赫角轮廓的形成
机译:通过氢氟酸湿法刻蚀来调整基于硅和二氧化硅的高对比度光栅的反射率
机译:感应耦合等离子体中的硅,二氧化硅和铌酸锂的侧壁轮廓和蚀刻机制。
机译:异丙醇浓度和刻蚀时间对低电阻晶体硅晶片湿化学各向异性刻蚀的影响
机译:采用各向异性湿法刻蚀技术制作的低损耗硅波导和光栅耦合器