机译:氮分压对反应磁控溅射沉积TiN薄膜的组织,形貌和N / Ti比的影响
TiN films; Reactive magnetron sputtering; Nitrogen partial pressure; Preferred growth orientation;
机译:氮分压对反应磁控溅射沉积TiN薄膜的组织,形貌和N / Ti比的影响
机译:氮分压对反应性射频磁控溅射沉积在PET基板上的氮氧化钛薄膜的影响
机译:氮分压对反应磁控溅射沉积TaNx薄膜性能的影响
机译:通过反应磁控溅射对沉积在β型Ti-15MO-3N-3AL-0.2SI合金基板上的锡薄膜结构和性能的影响
机译:通过反应磁控溅射沉积的亚稳态钛(0.5)铝(0.5)铝合金薄膜的物理性能。
机译:N2分压对液靶反应磁控溅射外延沉积GaN纳米棒生长结构和光学性能的影响
机译:通过反应磁控溅射合成的富含氮锡薄膜的化学计量和微观结构的压力和温度效应