氮分压对Ti0.33Al0.67N陶瓷膜层形貌与性能的影响

摘要

应用多弧离子镀技术在不同的氮气分压条件下制备Ti0.33Al0.67N陶瓷膜层,分析氮气分压对膜层形貌的影响和对膜层厚度、结合力及显微硬度等性能的影响。结果表明,氮气分压参数设计范围内存在一个最佳值,可以获得膜层最优性能。