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机译:退火对PECVD沉积的a-SiC:H薄膜光学性能的影响
Chemical vapor deposition; Silicon carbide (SiC); Band gap; Annealing;
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机译:脉冲电子束退火对PECVD沉积N掺杂a-SiC:H薄膜辐射损伤的影响
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机译:通过PECVD沉积并通过脉冲电子束退火的N掺杂a-SiC:H膜
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机译:氮气掺入对VHF PECVD沉积的富含Si的A-SiCx薄膜光学性质的影响
机译:热退火对DC磁控溅射沉积的A-SiC薄膜的光学和结构性能的影响