机译:使用硅烷和氮气通过VHF-PECVD制备的非晶氮化硅薄膜的光学性质
机译:用VHF-PECVD技术低温沉积nc-SiO_x:H / a-SiO_x:H多层膜的结构和光致发光特性
机译:NC-SiO_x的结构和光致发光性质:H / A-SiO_X:H通过VHF-PECVD技术在低温下沉积的多层膜
机译:通过PECVD沉积的无定形氢化碳膜:薄膜生长期间氮气掺入,等离子体表面处理
机译:沉积后注入和退火对PECVD沉积氮化硅膜性能的影响
机译:射频等离子体增强化学气相沉积(RF PECVD)反应器中样品高度对氮化硅薄膜光学性能和沉积速率的影响
机译:DC-PECVD沉积的金刚石碳薄膜的光学性质