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机译:用于铌酸锂集成光学电路的保护性硅-氧化硅磁控管溅射层
Integrated optics; thin films; lithium niobate; silicon; silicon oxide; reactive sputtering; pulsed magnetron sputtering; ICP-PECVD;
机译:用于铌酸锂集成光学电路的保护性硅-氧化硅磁控管溅射层
机译:富锂分层氧化物电极上的反应磁控溅射表面涂层增强电化学性能
机译:中红外电光调制使用在铌酸锂光波导上的单片二氧化钛
机译:铌酸锂退火质子交换集成光学电路的可靠性
机译:磁控溅射二硼化钛保护涂层的机械特性和氧化特性。
机译:在铌酸锂光波导上使用单片集成二氧化钛的中红外电光调制
机译:磁控溅射三硫化砷和铌酸锂光波导的混合集成。
机译:直流磁控反应溅射制备多层光学镀膜