XYZ-Positioniersystem fur die Halbleiterinspektion

摘要

Das XYZ-Positioniersystem zur automatisierten Inspektion hat Steinmeyer Mechatronik fur die Qualitatskontrolle von grossen Wafern, Probecards und Leiterplatten entwickelt. Es erlaubt die Hochgeschwindigkeitspositionierung entlang zweier linearer Achsen und gewahrleistet einen erhohten Durchsatz. Das Inspektionssystem mit Verfahrwegen bis 720mm erlaubt die gleichzeitige Uberprufung mehrerer 300-mm-Wafer oder einzelner bis 700x700mm grosser Substrate mit Spitzengeschwindigkeiten von bis zu 1.000mm/s.