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机译:集成电路互连结构中的附着力研究
Thin films; Interconnects; Interfaces; Fracture; Nanoindentation;
机译:集成电路互连结构中的附着力研究
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机译:具有无通孔多层金属互连的高度堆叠3D有机集成电路
机译:对用于大规模集成电路的LPCVD难熔金属/硅化物互连材料的系统研究。
机译:结构化专用集成电路(asIC)研究