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机译:直流反应溅射(Ti,Zr)N薄膜作为铜金属扩散阻挡层的特性
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机译:直流磁控管,III-V半导体金属化中扩散阻挡层的反应溅射TiNx膜的特性
机译:反应溅射纳米晶ZrN薄膜作为Cu和SiO_2之间的极薄扩散阻挡层
机译:反应溅射TiN扩散阻挡膜的银金属化
机译:用于嵌入式电容器的脉冲直流反应溅射氧化钽薄膜。
机译:通过磁控溅射中氮流量的氮气流量调节的Ti-Zr三元氮化物薄膜的结构组成和等离子体特性
机译:研究更新:反应溅射的纳米薄ZrN薄膜作为al和硼层之间的扩散阻挡层,用于辐射探测器应用