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机译:等离子体增强化学气相沉积在硅表面形成的晶体缺陷的少数载流子复合性质
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机译:通过等离子体增强化学气相沉积双层富硅氧氮化硅和氮化硅的表面钝化结晶硅
机译:结晶硅的切割边缘和承载面的复合缺陷导致的横向少数载流子An灭
机译:用于晶体光伏太阳能电池的柔性多晶金属基板上的异质外延硅薄膜:物理气相沉积与等离子体增强化学气相沉积之间的比较
机译:等离子体增强了硅-硫和磷-硫系统中薄膜和新结晶模型化合物的化学气相沉积。
机译:射频等离子体增强化学气相沉积(RF PECVD)反应器中样品高度对氮化硅薄膜光学性能和沉积速率的影响
机译:通过等离子体增强的化学气相沉积生长保形氢化非晶硅层的有效钝化黑色硅表面