机译:GLSI铜化学机械平坦化弱碱性浆料的研究
Hebei Univ Technol Sch Elect &
Informat Engn Tianjin 300130 Peoples R China;
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机译:GLSI铜化学机械平坦化弱碱性浆料的研究
机译:使用弱碱性浆料对阻挡层进行化学机械平面化
机译:GLSI铜互连CMP新型弱碱性浆料的稳定性
机译:以R(NH2)n为络合剂的GLSI中基于铜图案晶片的碱性浆料的化学机械平面化
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机译:YO纳米片用作铜化学机械平面化的浆料研磨剂
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